就是積電奮力向前的時(shí)候。
中海。
張江高科技園區(qū)。
一所不為人知的小白樓里面。
悄悄成立的中海微電子迎來了最關(guān)鍵的時(shí)刻。
2002年,光刻機(jī)被列入國家863重大科技攻關(guān)計(jì)劃,由國家科技-部和中海-市共同推動(dòng)成立“中海微電子-公司”來承擔(dān)。
制造光刻機(jī)就是在微觀世界里“造房子”——光刻機(jī)是一個(gè)由幾萬個(gè)精密零件、幾百個(gè)執(zhí)行器傳感器、千萬行代碼組成的超復(fù)雜思維系統(tǒng),它的內(nèi)部運(yùn)動(dòng)精度誤差不超過一根頭發(fā)絲的千分之一。
打個(gè)比喻,就像坐在一架超音速飛行的飛機(jī)上,拿著線頭穿進(jìn)另一架飛機(jī)上的針孔。由于它技術(shù)的超高難度以及系統(tǒng)的復(fù)雜性,導(dǎo)致光刻機(jī)在全世界形成了超高的技術(shù)門檻。
為實(shí)現(xiàn)“用華國人的光刻機(jī)造華國芯”的夢想,來自中海電氣副總工明榮老師,奉上級指示,帶著10位滿懷夢想的“戰(zhàn)友”來到張江,承擔(dān)起制造振興國家民族的微電子裝備產(chǎn)業(yè),開始了艱難的光刻機(jī)研發(fā)之路。
夢想是豐滿的,現(xiàn)實(shí)是骨感的。
國內(nèi)的光刻機(jī)相關(guān)行業(yè)處于一片空白,無論是專業(yè)人員還是配套的零件供應(yīng)鏈,都讓明榮無從下手。
在這樣的情況下,中海微電子總經(jīng)理明榮深知,“唯一的出路就是走自主創(chuàng)新之路?!?br>
這是一條艱苦卓絕之路。
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