中芯這是追到積電的屁股后面了。
雙方的技術(shù)代差,只有半代了。
想到這里。
張中謀不慌不忙,吩咐助理:“把林苯堅叫來。”
……
不一會,一名50來歲的清瘦男子奉命前來。
此人正是積電技術(shù)副總監(jiān)林苯堅,1970年獲得美國俄亥俄州立大學(xué)電機工程博士,在IBM一干就是22年,專攻高成像技術(shù)。
2000年,林苯堅加入了積電,提出一系列突破性的創(chuàng)新,研發(fā)濕法光刻技術(shù)。
這項技術(shù)和如今的干法光刻技術(shù)方案背道而馳,林苯堅還被圈內(nèi)人吐槽是“擋在航空母艦面前不自量力的飛鳥”。
此方案也遭到了如今“光刻機霸主”東洋佳能和尼康的抵制。林苯堅剛剛提出即遭反對,心情自然是郁悶無比,只得暗自研究相關(guān)工藝。
“張總,您找我?”林苯堅進門,就看到張中謀在看資料沉思。
“苯堅吶,你來了?!睆堉兄\聞言抬頭,喜道:“快請坐?!?br>
待到林苯堅小心地坐下后,張中謀笑道:“苯堅啊,你上次申請的濕法光刻技術(shù)項目,我研究后很有興趣,你能對我再講講你的看法嗎?”
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