劉藩兵至始興城下，下令攻擊，沈田子正好率軍在陽(yáng)山準(zhǔn)備攻打桂陽(yáng)城，聞?dòng)嵚受娕c劉藩匯合
。徐道覆麾下兵馬疲憊不堪，面對(duì)人數(shù)占優(yōu)的晉軍，勉強(qiáng)堅(jiān)守了五日。城破，徐道覆被殺。
番禺城下，盧循攻城，城中僅剩二千兵馬，孫處發(fā)動(dòng)百姓上城協(xié)守。盧循一面派人攻城，一面四處搜羅百姓搜刮糧食，接連進(jìn)攻了二十多天番禺城仍未攻克。
沈田子率軍馳援，城中守兵見(jiàn)援軍到來(lái)，士氣大振。此時(shí)盧循已經(jīng)聚集了兩萬(wàn)多人，想以?xún)?yōu)勢(shì)兵力先行擊潰沈田子。沈田子背水列陣，率先朝盧循軍殺去。
不等沈田子沖至陣前，盧循軍先自驚亂，此時(shí)孫處率軍從城中殺出，一舉將盧循亂軍擊潰，斬殺俘虜萬(wàn)余人。
盧循率殘部往西進(jìn)入交州，孫處與沈田子率軍追擊，于蒼梧、郁林、寧浦三戰(zhàn)三捷，孫處卻水土不服染上重病，不久身逝。廣州刺史褚裕之到任，劉藩、沈田子等人奉命率軍返回京城。
盧循竄往交州，攻占合浦，恰巧山賊李奕等人與交州刺史杜慧度有仇，兩者合兵攻打交州治所龍編。
龍編城外，杜慧度用雉尾炬以蘆葦?shù)任?，縛成下部分岔之草把，灌以油蠟，點(diǎn)燃后投擲，因形似禽尾，故稱(chēng)火焚變民軍船只，盧循中箭投水而死，杜慧度撈出其尸體斬首，連同盧循之父盧暇、四個(gè)兒子以及錄事參軍阮靜等人的首級(jí)，全部送到建康。
至此，歷時(shí)十一年的孫恩、盧循之亂徹底平定。
朝廷下旨賞功，授劉裕為太尉、中書(shū)監(jiān)，
錄尚書(shū)事、揚(yáng)州刺史等官職不變。劉裕知大局已定，這次不再推辭，欣然接受。
天子又以雍州軍南下相助平叛為由，加楊安玄為侍中、驃騎將軍；以后將軍劉毅守護(hù)建康、督運(yùn)輜重之功復(fù)任衛(wèi)將軍，開(kāi)府儀同三司，重返歷陽(yáng)任豫州刺史；其他有功將領(lǐng)一并封賞。
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